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GCE供氣面板DGS0 / DGS1安裝銷售

GCE在1994年就已經(jīng)與APTech合作，用來(lái)完整其在用于超高純領(lǐng)域的減器和閥產(chǎn)品線。能為微光電行業(yè)額的客戶提供高品質(zhì)、廣泛的選擇。

單級(jí)減壓, 帶外部氣體吹掃, 適用于低流量的腐蝕性特殊氣體,
gao純度 7.0,
進(jìn)氣壓力 230 bar / 3300 psi,
出氣壓力范圍 0.15 – 10 bar / 2 – 145 psi
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
• 帶膜片式減壓器
• 無(wú)彈簧隔膜閥帶90°轉(zhuǎn)向桿
• 爆破片限定了大壓力
• 感應(yīng)式壓力表RM63
• 減壓器和閥材質(zhì)為 316L/AOD/VAR
描述
單級(jí)供氣減壓器被安裝在不銹鋼控制面板上，包含了減壓器、高低壓表、隔膜閥和爆破片。 供氣面板經(jīng)連接可
吹掃的氣瓶閥后可使用惰性氣體吹掃。
應(yīng)用
此供氣面板適用于低流量的可燃性或腐蝕性氣體。
技術(shù)參數(shù)
流量數(shù)據(jù) Cv: 減壓器 0.09, 閥 0.29
膜片材質(zhì): 哈氏合金C22
閥座材質(zhì): PCTFE
工作氣體出口: VCR 1/4"f
吹掃進(jìn)/出氣: VCR 1/4"m
工作溫度: -40 °C ~ +70 °C / 40 °F - 158 °F
表面光潔度: 0.4 µm / 15 µin. Ra 大標(biāo)準(zhǔn)
母體泄漏率: 2×10 -9 cm³ /秒 氦氣檢測(cè) 100 bar/1500 psig 進(jìn)氣壓力
閥座泄漏率: 4×10 -8 cm³ /秒 氦氣檢測(cè) 70 bar/1000 psig 進(jìn)氣壓力

單級(jí)減壓, 帶外部氣體吹掃, 適用于特殊氣體,
gao純度 7.0,
進(jìn)氣壓力 230 bar / 3300 psi,
出氣壓力范圍 0.15 – 10 bar / 2 – 145 psi
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
• 可接FAV 903外部氣體吹掃和VG 80真空發(fā)生器
• 無(wú)彈簧隔膜閥帶90°轉(zhuǎn)向桿
• 爆破片限定了大壓力
• 感應(yīng)式壓力表RM63
• 閥材質(zhì)為 316L/AOD/VAR
描述
單級(jí)供氣減壓器被安裝在不銹鋼控制面板上，包含了減壓器，高低壓表，隔膜閥和爆破片。 供氣面板經(jīng)連接可
吹掃的氣瓶閥后，再使用真空發(fā)生器可使用惰性氣體進(jìn)行高效吹掃。
應(yīng)用
此供氣面板適用于低流量的高純度、可燃性或腐蝕性氣體以及特殊氣體。
技術(shù)參數(shù)
流量數(shù)據(jù) Cv: 減壓器 0.09, 閥 0.29
膜片材質(zhì): 哈氏合金C22
閥座材質(zhì): PCTFE
工作氣體出口/ 吹掃進(jìn)氣: VCR 1/4"m
真空發(fā)生器: 出氣: VCR 1/4"m, 進(jìn)氣: VCR或焊接管
工作溫度: -40 °C ~ +70 °C / 40 °F - 158 °F
表面光潔度: 0.4 µm / 15 µin. Ra 大標(biāo)準(zhǔn)
母體泄漏率: 2×10 -9 cm³ /秒 氦氣檢測(cè) 100 bar/1500 psig 進(jìn)氣壓力
閥座泄漏率: 4×10 -8 cm³ /秒 氦氣檢測(cè) 70 bar/1000 psig 進(jìn)氣壓力

GCE供氣面板DGS0 / DGS1安裝銷售